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IT之家 10 月 15 日信息，據(jù)武漢東湖新技術(shù)研發(fā)區(qū)管理委員會（中國光谷）今日信息，光谷企業(yè)在半導(dǎo)體專用光刻膠行業(yè)實(shí)現(xiàn)重大突破：
武漢太紫微光電科技有限機(jī)構(gòu)（以下簡叫作“太紫微機(jī)構(gòu)”）推出的 T150 A 光刻膠制品，已經(jīng)過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)配方全自主設(shè)計(jì)，有望開創(chuàng)國內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。
中國光谷官方介紹叫作：“該制品對標(biāo)國際頭部企業(yè)主流 KrF 光刻膠系列。相較于被業(yè)內(nèi)叫作之為‘妖膠’的國外同系列制品 UV1610，T150 A 在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)到 120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅(jiān)膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，經(jīng)過驗(yàn)證發(fā)掘 T150 A 中密集圖形經(jīng)過刻蝕，下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。”
IT之家查找公開資料獲悉，太紫微機(jī)構(gòu)成立于 2024 年 5 月，由華中科技大學(xué)武漢光電國家科研中心團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立。
太紫微機(jī)構(gòu)企業(yè)負(fù)責(zé)人、英國皇家化學(xué)會會員、華中科技大學(xué)教授朱明強(qiáng)暗示：“以原材料的研發(fā)為起點(diǎn)，最后得到擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的配方技術(shù)，這只是個(gè)起始，咱們團(tuán)隊(duì)還會發(fā)展一系列應(yīng)用于區(qū)別場景下的KrF 與 ArF 光刻膠，為國內(nèi)關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)帶來更加多驚喜。”
